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IC Wafer / FOPLP Panel 平坦度量測設備

適用:​ SIC、FOPLP Panel、氮化鎵、砷化鎵、藍寶石、PI FILM...

Wafer Size: 4吋、6吋、8吋、12吋

紅外線測厚儀SC-WF150.png

​​SC-WF200 Wafer Flatness Measurement

落地型全自動量測​

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檢測項目:THK、TTV、Bow、Wrap

選配:SECS/GEN

SC-WF300_edited_edited.jpg

​​SC-WF300 Wafer Flatness Measurement

落地型全自動量測​

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​檢測項目:THK、TTV、Bow、Wrap

選配:SECS/GEN

圖片3_edited.jpg

桌上型半自動量測

​適用Wafer尺寸 : 4-8吋 

檢測項目:THK、TTV、Bow 、Warp

圖片39_edited_edited.jpg

桌上型手動量測

​適用Wafer尺寸 : 2-12吋 

檢測項目:THK、TTV、Bow 、Warp

雷射位移載台-2.png

桌上型手動量測

​適用Wafer尺寸 : 1-8吋 

檢測項目:THK、TTV、Bow 、Warp

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