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IC Wafer平坦度量測設備
適用: SIC、氮化鎵、砷化鎵、藍寶石、GLASS、PI FILM...
Wafer Size: 4吋、6吋、8吋、12吋
適用尺寸:2~12吋
桌上型手動量測
檢測項目:THK、TTV、Bow 、Warp
適用Wafer尺寸: 1~8吋
桌上型手動量測
檢測項目:THK、TTV、Bow 、Warp
適用Wafer尺寸:4~8吋
桌上型半自動
檢測項目:THK、TTV、Bow 、Warp
SC-WF200 Wafer Flatness Measurement
SC-WF300 Wafer Flatness Measurement
落地型全自動
檢測項目:THK、TTV、Bow、Wrap
選配:SECS/GEN
落地型全自動
檢測項目:THK、TTV、Bow、Wrap
選配:SECS/GEN
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