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IC Wafer平坦度量測設備

適用:​ SIC、氮化鎵、砷化鎵、藍寶石、GLASS、PI FILM...


 

Wafer Size: 4吋、6吋、8吋、12吋

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圖片39_edited.jpg

​適用尺寸:2~12吋

桌上型手動量測

檢測項目:THK、TTV、Bow 、Warp

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雷射位移載台-2.png

適用Wafer尺寸: 1~8吋

桌上型手動量測

​檢測項目:THK、TTV、Bow 、Warp

圖片3.png

適用Wafer尺寸:4~8吋

桌上型半自動

​檢測項目:THK、TTV、Bow 、Warp

紅外線測厚儀SC-WF150.png
SC-WF300_edited_edited.jpg

​​SC-WF200 Wafer Flatness Measurement

​​SC-WF300 Wafer Flatness Measurement

落地型全自動

檢測項目:THK、TTV、Bow、Wrap

選配:SECS/GEN

落地型全自動

檢測項目:THK、TTV、Bow、Wrap

選配:SECS/GEN

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