​適用尺寸 : 4吋、6吋、8吋
檢測項目：THK、TTV、Bow、Wrap
適用材質：Si、Sic、GaAS、Sapphire
厚度量測範圍：200~800µm
厚度量測精度：±0.5µm
可選配：SECS、GEN
量測模式：任意點、任意線、米字型